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蔡司GeminiSEM 300高分辨掃描電子顯微鏡
發(fā)布日期:2023-04-12 11:09:35

  設(shè)備配置文件。
  蔡司場發(fā)射掃描電子顯微鏡300具有出色的分辨率、更高的對比度和更大且無失真的成像視野?煞奖愕剡x擇適合于樣品的真空度等參數(shù),使初學(xué)者也能很快掌握。
  器件的信號采集系統(tǒng)效率高,分辨率性能優(yōu)異,可在高真空或變壓模式下實現(xiàn)快速、高質(zhì)量、無畸變的大范圍成像。高分辨率電子槍模式,用于磁性樣品、非導(dǎo)電樣品和射束敏感樣品的低電壓成像。蔡司獨家的柱內(nèi)能量選擇性背散射檢測器,即使在低電壓下也能輕松獲得樣品材料的高質(zhì)量對比度圖像。此外,NanoVP技術(shù)使色譜柱中的Inlens二次電子檢測器能夠?qū)Ψ菍?dǎo)電樣品進(jìn)行高靈敏度和高分辨率成像。
  設(shè)備參數(shù)。
  生產(chǎn)廠家:蔡司(德國)。
  型號:GeminiSEM 300
  電子槍:ZrO/W(100)熱陰極場發(fā)射。
  加速電壓:20V~30 kV
  二次電子分辨率:1千伏時為1.2納米,15千伏時為0.7納米。
  低真空模式:10~60 帕可調(diào)。
  放大率:1200-2,000,000。
  樣品室尺寸:330毫米(φ)×270毫米(高)
  樣品臺行程:X/Y=130毫米,Z=50毫米,R=360°,T=-4°~+70°。
  主要特點。
  1. 無交叉光路設(shè)計。
  2. 光束助推器在鏡頭筒內(nèi)減速。
  3. 在鏡筒內(nèi)的正光軸上設(shè)置有環(huán)形二次電子探測器。
  4. 出色的低電壓高分辨率成像能力。
  5. 出色的光束穩(wěn)定性,可靠的EBSD分析。
  
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